等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，等離子處理機，等離子清洗機應用于材料結合或**改變材料表面屬性,真空等離子清洗機能對表面精密清洗,激活,蝕刻,涂層等,適用于表面復雜件,批量及在線處理

GDR-plasma真空等離子體清洗機

一、  設備名稱：等離子清洗機（低壓輝光放電等離子表面處理系統）

二、   設備型號：GDR-PLASMA

等離子體清洗機設備簡介

GDR系列低溫等離子表面處理設備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到30-40pa 的真空度，再在高頻發生器作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態），其顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的彩色可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

等離子清洗機，等離子處理機優點：

1.環保技術：等離子體清洗機的處理過程是氣- 固相干式反應 ,不消耗水資源、無需添加化學藥劑,對環境無污染。

2.廣適性：等離子清洗機不分處理對象的基材類型,均可進行處理,如金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料都能很好地處理；

3.溫度低：等離子清洗機接近常溫，特別適于高分子材料，比電暈和火焰方法有較長保存時間和較高表面張力。

4.功能強：等離子清洗機僅涉及高分子材料淺表面（10 -1000A ），可在保持材料自身特性的同時，賦予其一種或多種新的功能；

5.低成本：裝置簡單，易操作維修，可連續運行，往往幾瓶氣體就可以代替數千公斤清洗液,因此清洗成本會大大低于濕法清洗。

6.等離子清洗機處理全過程可控工藝：所有參數可由電腦設置和數據記錄，進行工藝質量控制。

7.等離子清洗機處理物幾何形狀無限制：大或小，簡單或復雜，部件或紡織品，均可處理。

8、等離子清洗機用于攝像頭、指紋識別行業：軟硬結合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔；
9、等離子清洗機用于半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗 ；
10、等離子清洗機用于硅膠、塑膠、聚合體表面粗化、刻蝕、活化。