等離子清洗機的活化的原理是：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。

等離子清洗機（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機的材料表面活化的應用是很多的，如粘接，上膠，印刷，上漆，涂裝等等， 等離子清洗機不分處理對象的基材類型，幾何形狀均可進行處理，對金屬、半導體、氧化物、微流控芯片PDMS鍵合、ITO、FTO、SEBS、硅片、二氧化硅、高分子材料、石墨烯粉末、金屬氧化物粉末等都能很好地處理，等離子清洗機可實現(xiàn)整體和局部以及復雜結構的清洗、活化、改性、刻蝕。 

PDMS基體等離子體清洗機處理提升鍵合工藝效果

等離子清洗機處理是在真空狀態(tài)下高頻發(fā)生器將氣體電離產(chǎn)生等離子體(物質(zhì)第四態(tài))進行表面活化改性處理的工藝。等離子體是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離所產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)它是除固、液、氣外物質(zhì)存在的第四態(tài)。這些高度活躍微粒子和被處理的材料表面發(fā)生作用，使惰性的聚合物表面活化提升其親水性，增強界面的交互作用且使單層分子更容易擴散到其表面，使PDMS基體表面得以改性*終實現(xiàn)其與多種材料鍵合。