等離子表面活化清洗設備作為一種干式清洗方式，有著濕法清洗無法比擬的優點，等離子清洗機在清潔材料表面的同時，還能對材料表面進行活化，有利于材料進行下一道的涂覆粘接等工藝。
等離子清洗機，表面活化刻蝕，接枝與聚合作用
（1）表面清洗
材料表面常常會有油脂、油污等有機物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子清洗機來處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。
（2）表面活化
塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。在惰性材料表面生成活性基團，增強表面極性，提高表面能。等離子清洗機的處理與灼燒處理相比，不會損害樣品，同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。
（3）等離子清洗機的表面刻蝕作用
在等離子清洗機的刻蝕過程中，通過處**體的作用，被刻蝕物會變成氣化物（例如在使用氟氣對硅刻蝕時）。處**體和基體氣化物質被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處**體覆蓋。無需刻蝕部分應使用相應材料覆蓋起來（例如半導體行業用鉻做覆蓋材料。）
4）等離子清洗機的表面接枝與聚合作用
等離子體清洗機表面活化產生的基團或等離子體引發聚合層不能與材料表面牢固結合時，采用等離子體清洗機的接枝的方法來改善。等離子體清洗機的接枝的原理為：先利用等離子清洗機的表面活化作用在材料表面產生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質產生化學共價鍵結合，后續的活性物質中帶有能夠滿足應用的特定基團，以達到既能滿足表面特性又能牢固結合的目的。
